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SSP工廠

6900m2建筑面積；重力流設(shè)計，四層；

六條生產(chǎn)線，兩個清潔室；

溫度和壓力的集散控制系統(tǒng)；

自動控制系統(tǒng)；閉環(huán)系統(tǒng)；自動控制系統(tǒng)；

抗交叉污染。

MSP工廠

功能（可升級）

2100m2建筑面積，潔凈室，固體處理；

四條生產(chǎn)線，15X3000L反應器，8X2000L反應器，適用于不同產(chǎn)品和/或階段，靈活連接，快速切換；

GLMS和SS304反應器和2000L氫化反應器；

DCS監(jiān)測溫度和壓力。